点击图片查看大图品牌:UNION 型号:HISOMET系列 产地:日本 非接触式深度测量工具显微镜
日本union HISOMET DH2高精度非接触深度测量显微镜
采用光学和非接触方法探测焦距的方法，测量不会给样品造成变形或划痕等影响，这些往往是采用物理性接触测量时产生的。基于目标分光方法原理的精密聚焦指示器的应用，以简单地把两个目标标志部分重合起来进行高精度的测量..
观 测 头： 三目
Z轴测量范围： 0.1μm 读数，20mm 行程
Z轴测量精度： 3σ=1μm (40×)
光学镜身： 精确的自动聚焦单元
物 镜： 5× - 100×
测量软体： 4种模式
资料处理软体： 显示最大值，最小值，平均值，标准偏差值等
HISOMET系列工具显微镜为一专业X、Y、Z轴座标测量显微镜，X、Y工作台行程由100*200mm到大行程500*500mm，放大倍数由5至1000×。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的精度，Z轴对焦采用一专利光学“裂像指示器”，结合精密的Z轴“Cross Roller Bearing”导轨，可测范围25 mm，精度高达1μm，配合特殊附件，测量分解度更可达0.5μm或0.1μm.
技术规格
型号：DH II
工作台行程：100*200mm/150*300mm/500*500mm
Z轴测量范围：25mm/25mm/25mm
三轴分解度：0.001mm
Z轴读数装置：ID-F内置数显表/外置数据处理系统
标准目镜：10X
标准物镜：10X
读数系统
DRO200S简易坐标读数器/QC200多功能数据处理器/QC5000测量软件电脑系统
功能：
非接触测量微细的撞击、台阶等。
◎ 通过高精度的光学聚焦点检测和精确的聚焦指示器完成高精确的测量
◎ 简单的操作
◎ Z轴测量行程可从几个μm 到25mm
◎ 同时还可以完成测量点的表面观察
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