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对于精密定位平台而言,总是期望定位平台运动时按给定的轨迹运动,并获得准确的定位位置[1～4].气浮支撑系统为精密定位平台实现超精密的定位运动奠定了技术基础[5～7].定位平台的直线运动实际上也就是直线电机动子的定位运动,由于定位平台气浮系统刚度和阻尼相对于气膜厚度存在明显的非线性,且在以直线电机为驱动机构的平台系统结构中存在未建模的现象。因此对定位平台控制方法的鲁棒性也提出了一定的要求[5,6].本研究针对气浮状态下的定位平台,运用滑模控制器(SMC)分析定位平台运动所能达到的定位精度。
气 浮平台是精密制造装备等的核 心。随着产业的发展,对气浮平台运动精度的要求不断提高,已挑战传统精密机构运动精度的极限。传统运动机构中接触式的运动副和刚性的结构必然造成系统的摩擦发热及振动传递,制约了系统动力学性能的提升,直接导致这类 机构的运动精度无法突破纳米级[1飊3] 。为此,目前 最根本和有效的手段是采用非接触式气浮支承运动副取代传统摩擦接触式运动副。气浮支承是微纳制造装备中超精密运动平台的支承部件,其动力学性能直接影响运动平台的定位精度和响应速度,决定气浮支承动力学性能的参数主要有质量、 刚度和阻等 。
气浮平台在污水治理的过程中发挥了极其强大的作用是污水治理的主要工具在高精度运动系统中,运动平台的非线性摩擦是影响控制性能的主要因一.直线电机驱动的工作台简化了传动环节,因而摩擦力带来的不确定性影响会直接地反映到控制系统,严重影响控制系统的性能.H型直线电机定位平台的双边直线电机需要高精度的同步运动控制,而工作台双边导轨摩 。气浮平台气浮平台气浮平台
由双边直线电机驱动的直线电机定位平台,为了减小运动平台的速度跟随误差和定位误差,研究了该精密定位系统的摩擦建模和补偿问题.由于工作台的滑块在导轨的不同位置表现出不同的摩擦特性,为改善补偿效果,提出了一种基于经典Stribeck摩擦力模型和工作台运动副位置参数的摩擦建模新方法,通过实验和回归的方法辨识出了工作台双边导轨的改进型Stribeck摩擦模型.基于建立的摩擦模型,采用前模型有更好的补偿效果, 适合具有大行程工作台的摩擦建模与补偿.
直线电机定位平台在社会生活中的各个领域得到广泛应用。为人民的生产生活带来方便。直线电机定位平台直线电机定位平台。
