日期:2012-09-28 09:20
：具备外延片蚀刻前之预先加热，以及蚀刻候之冷却设计，可避免外延片因急速N降温度所产生的热冲击破片。
VI.化学品供应系统：化学液之补充体积的精确度要高。
VII.外延片自动传送系统：外延片传送可保证连续顺利传送达400 Runs,以确保制造上之良率。
图12、弘塑科技设计制作之高温磷酸湿式蚀刻自动化量产设备。
结论
本文已针对蓝宝石基板之高温磷酸湿式蚀刻工艺，以及其工艺设备在设计制作上必须考虑哪些因素，进行详细探讨。由于LED之蓝宝石基板化学湿式蚀刻工艺，可藉由基板表面几何图形之变化，来改变LED的散