利用湿式蚀刻工艺提高LED光萃取效率之产能与良率的方法
日期:2012-09-28 09:20
了主动层(Active Region)及其他层会吸收光之外,另外必须注意的就是半导体的高折射系数(High Refractive Index),这将使得LED所产生的光受到局限(Trapped Light)。以图1来进行说明,从主动区所发射的光线在到达半导体与周围空气之界面时,如果光的入射角大于逃逸角锥(Escape Cone)之临界角(Critical Angle;c)时,则会产生全内反射(Total Internal Reflection);对于高折射系数之半导体而言,其临界角都非常小,当折射系数为3.3时,其全内反射角则只有17o,所以大部份从主动区所发射的光线,将被局限(Trapped)于半导体内部,这
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