日期:2012-10-11 09:27
工厂、化合物半导体公司、设备供应商及衬底供应商,已经卓有成效地取得重大技术进步。
2011年,imec的研究项目成功地生产出200 mm硅基氮化镓晶圆,该工艺让标准高生产率200 mm晶圆厂随手可得。此外,imec开发了兼容于标准CMOS工艺及工具的制造工艺,这是高性价比工艺的第二个先决条件。
安森美半导体高级副总裁兼首席技术官(CTO) Hans Stork说:身为提供宽广阵容高能效器件的全球20大半导体供应商之一,安森美半导体氮化镓技术研究已持之多年,如今正在公司的比利时Oudenaarde生产厂建设氮化镓工艺线。与imec合作,将巩固我们现有