日期:2013-10-12 11:05
价格:1.00/件
规格:标准
品牌:烟台昴升精密机械
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详细介绍
对于精密定位平台而言,总是期望定位平台运动时按给定的轨迹运动,并获得准确的定位位置[1～4].气浮支撑系统为精密定位平台实现超精密的定位运动奠定了技术基础[5～7].定位平台的直线运动实际上也就是直线电机动子的定位运动,由于定位平台气浮系统刚度和阻尼相对于气膜厚度存在明显的非线性,且在以直线电机为驱动机构的平台系统结构中存在未建模的现象。因此对定位平台控制方法的鲁棒性也提出了一定的要求[5,6].本研究针对气浮状态下的定位平台,运用滑模控制器(SMC)分析定位平台运动所能达到的定位精度。 气 浮平台是精密制造装备等的核 心