。随着产业的发展,对气浮平台运动精度的要求不断提高,已挑战传统精密机构运动精度的极限。传统运动机构中接触式的运动副和刚性的结构必然造成系统的摩擦发热及振动传递,制约了系统动力学性能的提升,直接导致这类 机构的运动精度无法突破纳米级[1n3] 。为此,目前 最根本和有效的手段是采用非接触式气浮支承运动副取代传统摩擦接触式运动副。气浮支承是微纳制造装备中超精密运动平台的支承部件,其动力学性能直接影响运动平台的定位精度和响应速度,决定气浮支承动力学性能的参数主要有质量、 刚度和阻等 。 气浮平台在污水治理的过程中发