挥了极其强大的作用是污水治理的主要工具在高精度运动系统中,运动平台的非线性摩擦是影响控制性能的主要因一.直线电机驱动的工作台简化了传动环节,因而摩擦力带来的不确定性影响会直接地反映到控制系统,严重影响控制系统的性能.H型直线电机定位平台的双边直线电机需要高精度的同步运动控制,而工作台双边导轨摩 。气浮平台气浮平台气浮平台 由双边直线电机驱动的直线电机定位平台,为了减小运动平台的速度跟随误差和定位误差,研究了该精密定位系统的摩擦建模和补偿问题.由于工作台的滑块在导轨的不同位置表现出不同的摩擦特性,为改善补偿