日期:2013-03-14 10:09
德国MOCVD设备厂爱思强股份有限公司（Aixtron）于3月5日宣布，其最新的硅基氮化镓生长设备ATX G5+反应器荣获2013年化合物半导体制造奖。
爱思强股份有限公司首席技术官安德烈亚斯（Andreas Toennis）表示，爱思强一直保持在硅基氮化镓技术的领先地位，公司对本次奖项的获得也十分高兴，这是化合物半导体行业对爱思强所取得成就的充分认可。
爱思强AIX G5+反应器（图片源自爱思强）
化合物半导体制造奖旨在表彰在有关芯片制造工艺领域从研究到成品器件等关键环节中取得的卓越创新成就，推动行业向前发展的人士、工