提升性能产量 爱思强获半导体制造奖
日期:2013-03-14 10:09
艺和产品。AIX G5+反应器旨在实现在硅基材上生长氮化镓，并提供可媲美蓝宝石基材生长工艺的性能和产量。

　　硅基氮化镓技术势将成为未来电力电子应用的技术选择，且在低成本高亮度LED制造方面拥有广阔的应用前景，爱思强欧洲副总裁Frank Schulte博士补充说。

　　据了解，AIX G5+每生产批次可处理五个直径为200mm的晶圆，通过大面积的基材，有效提高氮化镓设备的产量和良率。

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