日期:2013-03-22 09:38
该公司介绍称,这种设备专注于超高亮度LED 的大规模生产，具有目前世界上最高的系统产能，可以实现264片/2英寸，68片/4英寸，或32片/6英寸产能，具有最低的单片外延生产成本，并同时具有良好的波长均匀性及大规模外延生产所需的各项关键性能。
ProMaxy适合大规模生产多种器件，包括蓝白光LED、绿光LED、紫外光LED以及功率器件等，且简单更换工艺程序即可实现不同器件的生产。另外,客户可以根据需要自由选择配置1-4个反应腔，各个反应腔独立操作控制，提高设备效率和生产的灵活性。现已有客户接受多腔ProMaxy并调试进展顺利。此外