日期:2013-03-22 09:38
和技术秘密，可由5个国内已授权的专利来代表，分别是：
1、一种外延片托盘及支撑旋转联接装置
2、一种MOCVD系统及其中反应气体的排气装置
3、用于MOCVD反应腔中反应气体输送与均匀分布控制的装置
4、具有多个外延反应腔的MOCVD系统及其操作方式
5、用于MOCVD系统中控制外延片温度及均匀性的装置与方法
Q：ProMaxy在技术层面还有哪些优势?
A：首先该产品的良率可参照波长均匀性;片内STD 1nm;片间与批次间2nm。
第二，该产品不仅适合生长蓝白光、绿光及紫外光LED，而且可以一炉一炉