日期:2013-03-22 09:38
炉的交错独立地进行外延生长，相互不干扰。
第三，每日可以实现平均2.5 到3 炉的运作。
Q： ProMaxy多腔配置的价格大概多少?
A：中晟产品价格是根据外延营运成本来确定。如不包括衬底基片，设备的价格和生产效率(产能、维护周期等)占单片外延营运成本的约33%，Mo 源、化学气体、电力及水等消耗约占40%，耗材约占14%。中晟ProMaxy具有最低的单片外延营运成本就是基于这三部分比进口设备均有优势。因此，与类似产能的机台相比，ProMaxy在价格上要比进口设备低。
Q： 半导体照明节能产业规划提到会重点支持生产型