中晟大型MOCVD设备ProMaxy正式进入市场_技术交流

中晟大型MOCVD设备ProMaxy正式进入市场
日期:2013-03-22 09:38
MOCVD的量产，新产品否符合生产型MOCVD 的定义吗?

　　ProMaxy具有自动化装卸、连续外延生产性能的多腔系统，单腔的产能为66片/2英寸，17片/4 英寸，或8片/6英寸。如系统配置4个反应腔，产能高达264片/2 英寸，68片/4 英寸，或32片/6 英寸。因此ProMaxyTM 是符合而且超过半导体照明产业定义的生产型MOCVD。