Rubicon开发出基于晶体取向的非对称晶圆工艺
日期:2013-04-08 09:43
向在生产工艺中非常关键。该专利提供了一种简单而传统的解决方案,可消除蓝宝石晶圆处理工程中的那些昂贵的错误。该公司总裁兼CEO Raja M. Parvez表示。

  外延准备(Epitaxy-ready)晶圆既有平取向又有槽口取向,但这些信息是不够的:晶圆可能会前后翻转,看起来是一样的,但却不能用了。只通过重复的x-ray检测,厂商就能确保晶圆不被翻转。如果晶圆是非对称的,每个生产阶段的操作人员都能迅速而节省地分辨表面取向。

  Rubicon的专利展示了一些不同的制造蓝宝石晶圆不对称的解决方案,在平或槽口取向中哟孤儿圆角,这使得用户可
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