Rubicon开发出基于晶体取向的非对称晶圆工艺_技术交流

Rubicon开发出基于晶体取向的非对称晶圆工艺
日期:2013-04-08 09:43
可以决定晶圆不被反转。在其他解决方案中，平取向的圆角均比做成不同半径的圆形，这些差异足以通过触觉和视觉检测来确定其取向。该技术还可用于硅、氧化硅、氮化铝、碳化硅、砷化镓、磷化镓、氮化镓和非结晶物体等衬底。