日期:2013-05-21 10:37
大尺寸与图案化蓝宝石基板,同时也积极
增加产能.目前大陆还没有厂家能生产出图案化蓝宝石基板。
奈米级图案化蓝宝石基板(来源：和椿科技)
3、图案化蓝宝石基板(Pattern Sapphire Substrate简称PSS)
以成长(Growth)或蚀刻(Etching)的方式,在蓝宝石基板上设计制作出纳米级特定规则的微结构图案藉以控制LED之输出光形式，并可同时减少生长在蓝宝石基板上GaN之间的差排缺陷，改善磊晶质量，并提升LED内部量子效率、增加光萃取效率。
通常，C面蓝宝石衬底上生长的GaN薄膜是沿着其极性轴即ｃ轴方向生长的，薄