日期:2014-01-26 09:41
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精密定位平台，气浮平台，直线电机定位平台，烟台精密定位平台，烟台气浮平台，烟台直线电机定位平台――昴升（烟台）精密机器有限公司祝大家马年大吉大利！ 随着纳米技术的迅速发展，现代超精密测量及加工装备定位精度水平正由微米量级向纳米量级过渡。本课题提出的基于相位跟踪锁定的双频激光干涉仪技术超精密定位新方法，较传统定位省却了相位差转换为位移的环节，减少了误差项，提高了系统的频率响应。二维超精密定位平台作为此定位系统的位移执行单元，其精度及稳定性能将直接影响超精密定位平台的定位精度和效率。本文在设计并研