制具有纳米分辨力二维超精密定位平台的基础上，设计了高精度、高频响、低纹波的双极性输出压电陶瓷驱动电源，作为定位平台的驱动装置，本文的主要研究械摩擦、无间隙、运动灵敏度高及加工简单等优点，设计压电陶瓷，根据所选压电陶瓷驱动器特性，结合定位系统要求，设计输出电压范围为-300V~+300V的电源，并采用在误差放大电路环节加入RC滞后补偿的方法，消除电路自激振荡带来的不稳定性，并提高电源频响特性。 气浮平台模拟动量守恒系统,对转动部件角动量进行耦合测量,可对转动部件输出力学特性进行评估。通过对系统的转动惯量与角速度