日期:2013-03-14 11:00
（中国道路照明网讯）在下周即将举行的 SEMIcon China 展会期间，中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称中微）将正式发布多反应器金属有机化合物气相沉积设备（MOCVD），并首次进入半导体照明市场。Prismo D-Blue MOCVD 设备可以实现复杂的氮化镓、铟镓氮、铝镓氮超薄层结构的大批量生产，这些超薄层结构对于高亮度 LED 是必需的。中微的 MOCVD 设备不仅具有精准的参数控制、全自动化处理和独特的紧凑设计等特点，而且拥有高生产率、高产能和低成本投入，是 LED 芯片制造过程中必不可少的新一代 MOCVD 设备。
目前，中微已