日期:2013-03-14 11:00
总裁兼 MOCVD 产品事业群总经理杜志游博士说，我们专业的 MOCVD 技术团队建立了一个优势明显、极具灵活性的 MOCVD 平台，它具有其独特创新性，可以解决复杂技术和生产方面带来的挑战。能够为客户提供高产能低成本的技术，用于他们先进的 LED 器件制造，对此我们感到非常兴奋。
Prismo D-Blue具有卓越的工艺性能和生产效率：中微的 Prismo 机台可以同时加工216片2英寸晶圆。它的工艺能力还能延展到生长4英寸、6英寸和8英寸外延晶片。除了具有多反应器结构的优点可以使其加工灵活性达到最大化以外，Prismo D-Blue 在每个关键性能指标