日期:2013-03-14 11:00
上的表现都十分出色。在马拉松测试中，它表现出了优异的片内和片与片之间的均匀性以及很好的重复性。这些结果都是在整个外延晶片加工的过程中未作任何工艺参数调整而得出的。外延晶片加工的过程对于反应腔室表面的条件、化学气体环境、温度转换控制和其他可变因素都极为敏感，因此在这种加工过程中，能达到持续的重复性确实有它独到的一面。
在上述马拉松测试中，Prismo D-Blue 从未发生过任何异常中断，中微通过对工艺参数现场实时的监控实现了高可靠性。这种高可靠性还得益于一系列复杂的软件程序、先进的传输模块、流程自动化和