日期:2013-03-14 11:00
控制技术。这些同样也是使得中微的半导体前端加工设备被业界广为认可的技术。
Prismo D-Blue 还被进一步优化以方便用户更易操作与维护。这对于一个发展迅速并看重成本的 LED 芯片制造商来说是至关重要的。卓越的加工性能和正常可运行时间可以拉大服务之间的差距，而新颖的设计特点则能够使得设备维护更加简便易行。同时，自动化、可编程的维护程序使得反应腔开关操作更加安全、快捷、可预测并且不易出错。
Prismo D-Blue 目前已拥有100多项专利（包括授权和未授权专利）以保护其独特的创新性。此外，它还遵循了半导体制造规