ステン
300～3000mm
50～2000mm
0.3MPa
RP1/8
ケ`ブル接A口にイオン生成（高R）ランプ装
0.02ppm以下（y定距x300mm）
温度5～40℃、湿度80%RH以下（Y露なきこと）
コントロ`ラより供o
コントロ`ラ部（除Oに付属）
型式 ASIBS-CB入力R消M流周波数可涔炀蟊硎就獠咳肓ν獠砍隽υO定目|量
DC24V
400mA
0.5～55Hz（10段A）
クリ`ニング警蟆椹`ム警螅ǜ唠R常）
除停止入力
クリ`ニング警蟪隽Α椹`ム警蟪隽Γǜ唠R常）
除停止、IDナンバ`、イオンk生周波数