KASUGA春日电机静电电位监测设备2CH/KSD-0120
在超越了设定的电位时、能与各种制造装置传动。
装备检出传感器的故障表示LED、能输出到外部。
KSD-0120的规格
用途
监视平面显示器生产工序中的带电量。
监视半导体硬芯片(wafer)的带电量。
监视LSI 处理中及印刷电路板搬送中的带电量。




品目形式淇急咎迦「督鹁撺互螗用ACアダプタ
KSD-0120
本体に付属
KS-2100 オプション、2台迄使用可能
KSD-0120用ACアダプタ オプション






本体


型式表示欹圣恁俺隽χ朴O定制御出力源消M流h境|量
KSD-0120
レンジ(1) ±1~±1999V

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