858/l222l。)。XD-025单级抽气泵浦 XD型单级旋片式真空泵技术参数XD-010XD-020XD-040XD-063XD-100XD-160抽气速率（L/h）10204063100160极限压力(Pa)2X10-22X10-22X10-22X10-22X10-22X10-2电机功率(kw)0.370.751.11.51.54转速（rpm）145030001450145014501450。

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