号 额定正弦推力N 额定随机推力N 频率范围Hz 额定加速度m／s2 额定速度m／S 额定位移(pp)mm 最大员载kg 运动部件等效重量kg 工作台尺寸mm
ES一1 1000 800 54500 400 1.2 25 70 2.5 150
ES一1.5 1500 1200 54500 600 1.2 25 70 2.5 150
ES一2 2000 1600 54000 800 1.6 25 70 2.5 150
ES一2a 2000 1600 23000 250 1.4 40 140 8 230
ES一3 3000 2400 54000 1000 1.6 25 120 3 150
ES一3a 3000 2100 23000 350 1.4 40 140 8.5 230
ES一6 6000 4800 53000 1000 1.6 25 200 6.0 200
ES一6a 6000 4200 22500 500 1.4 51 300 12 230
ES一