国产ITO薄膜沉积设备出炉，提升LED芯片出光效率
日期:2012-08-17 13:44
复性完全满足LED芯片制造商对高质量ITO薄膜的生产需求。

该设备目前已完成了多家主流生产线的工艺验证，得到了客户认可并获得批量销售订单。北方微电子坚信，随着ICP刻蚀机、ITO溅镀机等众多国产高端工艺设备市场应用程度的提升，我国LED外延片、芯片制造产业将会在产品性能、生产成本等方面获得更多收益。

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