蓝宝石晶圆具有肉眼可视的特殊取向。Rubicon已经开发了一种工艺,制作可通过视觉或触觉检测取向的非对称晶圆。这很重要,因为LED和半导体制造商采用特殊晶体取向处理蓝宝石晶圆。该专利可帮助LED和SoS/RFIC产业制造商,免去昂贵和不必要的步骤,采用x-ray晶体等技术来确定蓝宝石晶圆取向。
“在LED和SoS/RFIC市场中,晶体取向在生产工艺中非常关键。该专利提供了一种简单而传统的解决方案,可消除蓝宝石晶圆处理工程中的那些昂贵的错误。”该公司总裁兼CEO Raja M. Parvez表示。
外延准备(Epitaxy-ready)晶圆既有平取向又有槽口取向,但这些信息是不够的:晶圆可能会前后翻转,看起来是一样的,但却不能用了。只通过重复的x-ray检测,厂商就能确保晶圆不被翻转。如果晶圆是非对称的,每个生产阶段的操作人员都能迅速而节省地分辨表面取向。
Rubicon的专利展示了一些不同的制造蓝宝石晶圆不对称的解决方案,在平或槽口取向中哟孤儿圆角,这使得用户可以决定晶圆不被反转。在其他解决方案中,平取向的圆角均比做成不同半径的圆形,这些差异足以通过触觉和视觉检测来确定其取向。该技术还可用于硅、氧化硅、氮化铝、碳化硅、砷化镓、磷化镓、氮化镓和非结晶物体等衬底。