日本厂商Air Water公司发布新闻稿,宣布该公司已经研发出可生产全球最大尺寸的“碳化矽(SiC)”基板量产技术,借由该技术所生产的SiC基板尺寸可达8英寸。

8英寸的碳化矽基板(图片源自Air Water)
Air Water表示,SiC基板可充做电源控制芯片、LED的底层基版,而该公司上述量产技术可同时满足“大面积”、“高品质结晶”及“低成本”等要求,故可望对电源控制芯片、LED的加快普及带来贡献。
Air Water目前已投资约20亿日圆(约1.2亿元人民币)于安昙野工厂内整备出月产2000片的量产体制。据日经指出,Air Water该8寸SiC基板已进行样品出货,Air Water并计划于2016年以后将SiC基板事业营收扩增至数百亿日圆的规模。